MEMS 振镜 S13989-01H

微型,高性能,电磁驱动的二维激光扫描MEMS振镜

S13989-01H是电磁驱动振镜,结合了我们独特的MEMS(微机电系统)技术。 通过将磁铁布置在振镜下方,可以使设备占地空间更小。 通过采用气密密封包装,可实现高可靠性。 振镜周围的线圈中流动的电流根据弗莱明定律驱动振镜产生洛伦兹力。 分分彩28MEMS反射振镜具有大的光学偏转角和高反射镜反射率。

特征
● 低电流运行
超小型尺寸
较大的光学偏转角

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详细参数 外形尺寸图(单位:mm)

详细参数

类型For 2-dimensional scan
扫描模式2-axis raster scan
运行模式Fast axis: Non-linear mode (resonant mode)
Slow axis: Linear mode
振镜尺寸φ1.23 mm
振镜材料Aluminium
光学偏转角Fast axis: ±20°
Slow axis: ±12 °
驱动频率(最大值)Fast axis: 29.3 kHz (typ.)
Slow axis: 100 Hz


外形尺寸图(单位:mm)

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